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基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究

摘要:针对硅基压阻式压力传感器易受环境温度影响的特点,提出了一种基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿方案。该方案主要由训练数据预处理模块、DE参数寻优模块、SVM训练模块、数据采集模块、测量数据预处理模块及SVM校正等模块组成,以SVM算法的非线性回归功能为核心,通过DE算法优化SVM参数,经训练后得到温度校正模块,模块接收测量数据后输出校正后的压力值。实验表明,对单个传感器压力值使用DE-SVM模型进行校正,最大误差和均方误差分别下降了93.87%和99.89%;在七块硅基压阻式压力传感器构成的多传感器情况下,最大误差和均方误差分别下降了93.17%和99.27%,平均相对误差由14.06%下降至1.20%;最后选取训练数据不包含的温度点使用所建立的模型进行测试,模型仍能够较好地进行温度补偿。

关键词:
  • 检测技术  
  • 温度补偿  
  • 硅基材料  
  • 压阻式压力传感器  
作者:
文常保; 王蒙; 钟晨昊; 宿建斌; 巨永锋
单位:
长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所; 西安710064
刊名:
传感技术学报

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期刊名称:传感技术学报

传感技术学报紧跟学术前沿,紧贴读者,国内刊号为:32-1322/TN。坚持指导性与实用性相结合的原则,创办于1988年,杂志在全国同类期刊中发行数量名列前茅。