摘要：分别采用超快激光加工设备和电解刻蚀系统,对高温合金群浅槽进行了刻蚀实验,观察了浅槽形貌及剖切金相,检测了浅槽表面粗糙度及深度。结果表明:两种加工方式均能实现群浅槽的加工,剖切金相分析均未发现变质层;与电解刻蚀相比,超快激光刻蚀的浅槽形貌更规则、表面粗糙度更优,且尺寸数值波动小、一致性好。