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标准镜调整和面形误差对干涉测量的影响

摘要:采用Zemax光学设计软件进行干涉模拟,建立传统菲索干涉仪结构;对标准镜调整和面形误差对测量结果的影响做出模拟分析,得出对标准镜引入倾斜将会带来像差;分析了标准镜前后表面面形误差对测量结果的影响。

关键词:
  • 菲索干涉仪  
  • 标准镜  
  • 波像差  
作者:
曹晓君; 郑建洲; 王丽梅; 曲艳玲; 武松林
单位:
大连民族大学物理与材料工程学院; 辽宁大连116605
刊名:
大连民族学院学报

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期刊名称:大连民族学院学报

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