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一种用于激光背面测试CMOS图像芯片的封装方法研究

摘要:研究方向是最终用于激光背面测试的 CMOS 图像芯片 PLCC 封装方法,通过采用 DOE 实验优化的方法,以封装工艺中键合的实际键合效率为依据,得出了关于封装中底部压块设计的最优方案,以确保 CMOS 图像芯片封装可以稳定高效地完成。

关键词:
  • 集成电路制造  
  • cmos图像芯片封装  
  • plcc封装  
  • 激光背面测试  
  • doe实验优化  
  • 键合  
作者:
史海军; 叶红波
单位:
上海集成电路研发中心测试技术部; 上海201203
刊名:
集成电路应用

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期刊名称:集成电路应用

集成电路应用杂志紧跟学术前沿,紧贴读者,国内刊号为:31-1325/TN。坚持指导性与实用性相结合的原则,创办于1984年,杂志在全国同类期刊中发行数量名列前茅。