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环境微振动下超精密加工设备基础隔振分析

摘要:为研究超精密加工设备隔振基础的隔振效果,以某超精密加工设备为研究对象,设计了隔振系统,分析了系统在环境微振动下的振动响应,发现在x方向能得到很好的隔振效果。另外,通过调整隔振基础厚度和隔振弹簧刚度,分析了加工设备对外界环境微振动的响应变化情况。

关键词:
  • 超精密加工  
  • 环境振动  
  • 隔振基础  
  • 频域响应  
  • 隔振参数  
作者:
夏泓泉; 范进; 何嫣然; 丁建国
单位:
南京理工大学土木工程系; 江苏南京210094
刊名:
机械制造与自动化

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期刊名称:机械制造与自动化

机械制造与自动化杂志紧跟学术前沿,紧贴读者,国内刊号为:32-1643/TH。坚持指导性与实用性相结合的原则,创办于1972年,杂志在全国同类期刊中发行数量名列前茅。