摘要：目前,世界上主要采用改良西门子法生产工艺制备多晶硅,多晶硅还原单元是改良西门子法生产工艺的一个重要环节,还原单元设计的优劣对多晶硅的质量和成本有着重要影响,本文将根据设计经验并结合实际生产操作,对多晶硅还原单元的工艺系统设计、装置布置等进行介绍,以期对多晶硅生产和多晶硅还原单元设计及布置提供参考。