摘要：采用化学气相沉积(CVD)法成功制备了红外材料硫化锌(ZnS),利用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和傅里叶红外光谱仪(FTIR)对ZnS样品的组分、相结构、表面形貌和光学性能进行表征分析。研究结果表明:沉积温度较低时,ZnS为立方结构,随着沉积温度升高,有少量六方结构ZnS生成;ZnS中原子比Zn/S大于1,Zn原子含量随沉积温度的升高逐渐减少,提高沉积温度可抑制ZnH2的生成,过高的沉积温度则降低了ZnS的光学性能;沉积温度为620 ℃时,ZnS表面微孔少,光学性能良好。