摘要：矩形微通道式微悬臂梁传感器可用于检测单个微粒子或细胞的质量,在生物和化学等领域具有非常广泛的应用前景。设计了一种含有矩形微通道的微悬臂梁结构,建立了单个微粒子等效的集中载荷在微悬臂梁中矩形微通道的任意位置时弯曲挠度的理论模型,分析了静态工作模式下的弯曲挠度变化以及研究了单个微粒子的质量及位置对微悬臂梁的弯曲挠度的影响,并用COMSOL Multiphysics仿真软件对矩形微通道式微悬臂梁的弯曲变形进行仿真计算,弯曲挠度的仿真结果与理论计算结果相对误差为1.2%。实验验证了在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微粒子的作用下,微悬臂梁的最大弯曲挠度为2.741μm。