摘要:由于钨及其合金的高熔点和室温脆性,传统凝固成型及冷加工方案难以适用,高纯钨产品基本上代表了高纯金属制造技术的尖端水平。尽管我国是钨资源大国,但目前国内仅有少数企业能够生产集成电路用高纯钨靶材等产品,本文介绍了高纯钨产品制造相关的技术和国内专利情况,对了解这一领域提供参考。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
热门期刊
相关论文
期刊名称:中国科技信息
中国科技信息杂志紧跟学术前沿,紧贴读者,国内刊号为:11-2739/N。坚持指导性与实用性相结合的原则,创办于1989年,杂志在全国同类期刊中发行数量名列前茅。