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电子行业用高纯钨制备技术

摘要:由于钨及其合金的高熔点和室温脆性,传统凝固成型及冷加工方案难以适用,高纯钨产品基本上代表了高纯金属制造技术的尖端水平。尽管我国是钨资源大国,但目前国内仅有少数企业能够生产集成电路用高纯钨靶材等产品,本文介绍了高纯钨产品制造相关的技术和国内专利情况,对了解这一领域提供参考。

关键词:
  • 制备技术  
  • 高纯钨  
  • 电子行业  
  • 室温脆性  
  • 凝固成型  
  • 金属制造  
  • 产品制造  
  • 钨产品  
作者:
申璐; 邓启煌
单位:
国家开发银行宁波市分行; 长江师范学院材料学院; 重庆
刊名:
中国科技信息

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

期刊名称:中国科技信息

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