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四氯化硅冷氢化技术研究进展

摘要:综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展。

关键词:
  • 四氯化硅  
  • 三氯氢硅  
  • 多晶硅  
  • 冷氢化  
作者:
沈峰; 陈其国; 潘维杰
单位:
江苏中能硅业科技发展有限公司; 江苏徐州221004
刊名:
中国氯碱

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

期刊名称:中国氯碱

中国氯碱杂志由中国氯碱工业协会主办,中国氯碱工业协会主管的学术刊物,国内刊号为:12-1221/TQ。创办于1981年,月刊,在全国同类期刊中发行数量名列前茅。其主要栏目有:专论与综述、企业信息、烧碱、政策信息、综合信息、聚氯乙烯、设备与防腐、检测自控、安全环保、节能减排、其他等。